An 8 mW fully integrated regenerative resonant MEMS CO2 sensor using linear polyethylenimine as a capture layer

Prud'homme, Alberto et Nabki, Frederic. 2021. « An 8 mW fully integrated regenerative resonant MEMS CO2 sensor using linear polyethylenimine as a capture layer ». IEEE Sensors Journal, vol. 21, nº 5. pp. 5904-5913.
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URL Officielle: http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2020.3042485

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	08 janv. 2021 20:08
Dernière modification:	31 mars 2021 16:28
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/21972

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