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Bulk mode microelectromechanical resonator devices and methods

Elsayed, Mohannad, El-Gamal, Mourad, Nabki, Frederic et Cicek, Paul-Vahe (inventeurs) 11 août 2020. « Bulk mode microelectromechanical resonator devices and methods ». MEMS Vision International Inc. (titulaire(s)). Brevet américain US 10,742,191.

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Type de document: Brevet (Brevet américain)
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 11 juin 2021 18:24
Dernière modification: 02 déc. 2022 00:13
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/22829

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