Surface micromachined out-of-plane electrostatic MEMS actuator integrated with displacement sensor

Nabavi, Seyedfakhreddin, Menard, Michael et Nabki, Frederic. 2021. « Surface micromachined out-of-plane electrostatic MEMS actuator integrated with displacement sensor ». In IEEE Sensors (Sydney, Australia, Oct. 31-Nov. 03, 2021) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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Type de document:	Compte rendu de conférence
ISBN:	19300395
Professeur:	Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	25 févr. 2022 21:22
Dernière modification:	25 févr. 2022 21:22
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/24034

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