Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic.
2022.
« A SOI out-of-plane electrostatic MEMS actuator based on in-plane motion ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 31, nº 5.
pp. 820-829.
Compte des citations dans Scopus : 11.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2022.3190829
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique, Génie électrique |
| Date de dépôt: | 24 août 2022 18:33 |
| Dernière modification: | 26 janv. 2023 20:57 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/25113 |
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