Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities

Shen, B., Allard, M., Boughaba, S., Izquierdo, R. et Meunier, M.. 1996. « Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities ». Canadian Journal of Physics, vol. 74. S54-S58.
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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Izquierdo, Ricardo
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	19 sept. 2022 19:16
Dernière modification:	19 sept. 2022 19:16
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/25392

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