Vertical electrostatic MEMS aligner with integrated silicon nitride optical waveguides

Nabavi, Seyedfakhreddin, Menard, Michaël et Nabki, Frederic. 2022. « Vertical electrostatic MEMS aligner with integrated silicon nitride optical waveguides ». In IEEE Sensors (Dallas, TX, USA, Oct. 30-Nov. 02, 2022) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
Compte des citations dans Scopus : 3.

Le plein texte de ce document n'est pas hébergé sur ce serveur.

Rechercher dans Google Scholar

URL Officielle: https://doi.org/10.1109/SENSORS52175.2022.9967301

Type de document:	Compte rendu de conférence
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	07 janv. 2023 01:04
Dernière modification:	07 janv. 2023 01:04
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/26089

Actions (Authentification requise)

Dernière vérification avant le dépôt