Vertical electrostatic MEMS aligner with integrated silicon nitride optical waveguides

Nabavi, Seyedfakhreddin, Menard, Michaël et Nabki, Frederic. 2022. « Vertical electrostatic MEMS aligner with integrated silicon nitride optical waveguides ». In IEEE Sensors (Dallas, TX, USA, Oct. 30-Nov. 02, 2022) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/SENSORS52175.2022.9967301

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	07 janv. 2023 01:04
Dernière modification:	07 janv. 2023 01:04
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/26089

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