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A suspended MEMS inductor of a new geometry and a novel anchor for RF applications

Elzayat, Ahmed, Degbe, Médéa, Domingue, Frédéric et Nerguizian, Vahé. 2006. « A suspended MEMS inductor of a new geometry and a novel anchor for RF applications ». In IEEE International Symposium on Industrial Electronics (ISIE) (Montreal, Canada, Jul. 9-13, 2006) pp. 3332-3337. Piscataway, NJ, USA : Institute of Electrical and Electronics Engineers.
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Type de document: Compte rendu de conférence
ISBN: 1-4244-0496-7
Professeur:
Professeur
Nerguizian, Vahé
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 30 oct. 2012 18:18
Dernière modification: 30 oct. 2012 18:18
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/2710

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