Benevides, Rodrigo, Ménard, Michaël, Wiederhecker, Gustavo S. et Alegre, Thiago P. Mayer.
2020.
« Ar/Cl2 etching of GaAs optomechanical microdisks fabricated with positive electroresist ».
Optical Materials Express, vol. 10, nº 1.
pp. 57-67.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1364/OME.10.000057
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Ménard, Michaël |
| Affiliation: | Autres |
| Date de dépôt: | 16 août 2023 18:28 |
| Dernière modification: | 16 août 2023 18:28 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27357 |
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