Benevides, Rodrigo, Ménard, Michaël, Wiederhecker, Gustavo S. et Alegre, Thiago P. Mayer.
2018.
« Plasma-etched GaAs optomechanical microdisks fabricated with an electro-lithographic soft mask ».
In Latin America Optics and Photonics Conference 2018 (Lima, Peru, Nov. 12-15, 2018)
OSA - The Optical Society.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1364/LAOP.2018.W4D.2
| Type de document: | Compte rendu de conférence |
|---|---|
| Informations complémentaires: | Identifiant de l'article: W4D.2 |
| Professeur: | Professeur Ménard, Michaël |
| Affiliation: | Autres |
| Date de dépôt: | 16 août 2023 19:05 |
| Dernière modification: | 16 août 2023 19:05 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27385 |
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