Toward a polysilicon-based electrostatically actuated DC MEMS switch

Shuaibu, Abdurrashid Hassan, Blaquière, Yves et Nabki, Frédéric. 2023. « Toward a polysilicon-based electrostatically actuated DC MEMS switch ». In 21st IEEE Interregional NEWCAS Conference (NEWCAS) (Edinburgh, UK, June 26-28, 2023) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..

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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/NEWCAS57931.2023.10198185

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Blaquière, Yves Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	13 sept. 2023 19:09
Dernière modification:	13 sept. 2023 19:09
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27669

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