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A monolithic LTCC-MEMS microfabrication process

Fallahnia, Ehsan et Kouki, Ammar B.. 2023. « A monolithic LTCC-MEMS microfabrication process ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 32, nº 6. pp. 612-621.
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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Kouki, Ammar B.
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 03 oct. 2023 14:45
Dernière modification: 19 janv. 2024 14:06
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27882

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