Fallahnia, Ehsan et Kouki, Ammar B..
2023.
« A monolithic LTCC-MEMS microfabrication process ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 32, nº 6.
pp. 612-621.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2023.3310932
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Professeur: | Professeur Kouki, Ammar B. |
| Affiliation: | Génie électrique |
| Date de dépôt: | 03 oct. 2023 14:45 |
| Dernière modification: | 19 janv. 2024 14:06 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/27882 |
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