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Design and experimental validation of a piezoelectric resonant MEMS phase comparator

Gratuze, Mathieu, Kazemi, Mohammad, Nabavi, Seyedfakhreddin, Cicek, Paul-Vahe, Robichaud, Alexandre et Nabki, Frederic. 2024. « Design and experimental validation of a piezoelectric resonant MEMS phase comparator ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 33, nº 6. pp. 747-757.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 25 oct. 2024 15:37
Dernière modification: 27 janv. 2025 16:57
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/29738

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