Nia, Ehsan Fallah et Kouki, Ammar.
2024.
« Ceramics for microelectromechanical systems applications: A review ».
Micromachines, vol. 15, nº 10.
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URL Officielle: https://doi.org/10.3390/mi15101244
Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
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Professeur: | Professeur Kouki, Ammar B. |
Affiliation: | Génie électrique |
Date de dépôt: | 12 nov. 2024 16:44 |
Dernière modification: | 12 nov. 2024 16:44 |
URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/29806 |
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