A literature survey on the design approaches and operational issues of automated wafer-transport systems for wafer fabs

Montoya-Torres, J. R.. 2006. « A literature survey on the design approaches and operational issues of automated wafer-transport systems for wafer fabs ». Production Planning and Control, vol. 17, nº 7. pp. 648-663.
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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Montoya Torres, Jairo
Affiliation:	Autres
Date de dépôt:	22 nov. 2024 21:51
Dernière modification:	22 nov. 2024 21:51
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/29961

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