A MEMS phase comparator using three air coupled triangular MEMS resonators

Nabavi, Seyedfakhreddin, Gratuze, Mathieu et Nabki, Frederic. 2024. « A MEMS phase comparator using three air coupled triangular MEMS resonators ». In IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS) (Taipei, Taiwan, Sept. 22-26, 2024) Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..

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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/UFFC-JS60046.2024.10794141

Type de document:	Compte rendu de conférence
Professeur:	Professeur Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	24 févr. 2025 19:38
Dernière modification:	24 févr. 2025 19:38
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/30592

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