Reduction of motional resistance using piezoelectric on silicon MEMS disk arrays for ambient air applications

Ali, Abid, Tariq Balghari, Suaid, Wajih Ullah Siddiqi, Muhammad et Nabki, Frederic. 2025. « Reduction of motional resistance using piezoelectric on silicon MEMS disk arrays for ambient air applications ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 34, nº 4. pp. 459-471.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2025.3571721

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	30 juin 2025 20:28
Dernière modification:	03 sept. 2025 20:22
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/31083

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