Ali, Abid, Tariq Balghari, Suaid, Wajih Ullah Siddiqi, Muhammad et Nabki, Frederic.
2025.
« Reduction of motional resistance using piezoelectric on silicon MEMS disk arrays for ambient air applications ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 34, nº 4.
pp. 459-471.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2025.3571721
Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
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Professeur: | Professeur Nabki, Frédéric |
Affiliation: | Génie électrique |
Date de dépôt: | 30 juin 2025 20:28 |
Dernière modification: | 03 sept. 2025 20:22 |
URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/31083 |
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