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Reduction of motional resistance using piezoelectric on silicon MEMS disk arrays for ambient air applications

Ali, Abid, Tariq Balghari, Suaid, Wajih Ullah Siddiqi, Muhammad et Nabki, Frederic. 2025. « Reduction of motional resistance using piezoelectric on silicon MEMS disk arrays for ambient air applications ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 34, nº 4. pp. 459-471.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 30 juin 2025 20:28
Dernière modification: 03 sept. 2025 20:22
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/31083

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