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Design and fabrication of multi-frequency and low-quality-factor capacitive micromachined ultrasonic transducers

Moshrefi, Amirhossein, Ali, Abid, Gratuze, Mathieu et Nabki, Frederic. 2025. « Design and fabrication of multi-frequency and low-quality-factor capacitive micromachined ultrasonic transducers ». Micromachines, vol. 16, nº 7.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:
Professeur
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 21 août 2025 14:19
Dernière modification: 21 août 2025 14:19
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/31488

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