Push-push electrothermal MEMS actuators with Si-to-Si contact for DC power switching applications

Shuaibu, Abdurrashid Hassan, Rabih, Almur A. S., Blaquière, Yves et Nabki, Frederic. 2025. « Push-push electrothermal MEMS actuators with Si-to-Si contact for DC power switching applications ». Micromachines, vol. 16, nº 9.

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URL Officielle: https://doi.org/10.3390/mi16090977

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Blaquière, Yves Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	16 oct. 2025 14:20
Dernière modification:	16 oct. 2025 14:20
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/32540

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