Electrostatic MEMS phase shifter for SiN photonic integrated circuits

Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2025. « Electrostatic MEMS phase shifter for SiN photonic integrated circuits ». Journal of Sensor and Actuator Networks, vol. 14, nº 5.

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URL Officielle: https://doi.org/10.3390/jsan14050088

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	14 nov. 2025 17:41
Dernière modification:	14 nov. 2025 17:41
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/32991

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