Heidari, Navid, Moghaddam, Mohammadreza Kolahdouz, Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic.
2026.
« Bidirectional electrostatic rotary MEMS actuator achieving ±3.2° angular displacement ».
Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 35, nº 1.
pp. 122-133.
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URL Officielle: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2025.3634521
| Type de document: | Article publié dans une revue, révisé par les pairs |
|---|---|
| Chercheur(-euse): | Chercheur(-euse) Ménard, Michaël Nabki, Frédéric |
| Affiliation: | Génie électrique, Génie électrique |
| Date de dépôt: | 17 déc. 2025 15:21 |
| Dernière modification: | 10 mars 2026 14:50 |
| URI: | https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33129 |
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