Bidirectional electrostatic rotary MEMS actuator achieving ±3.2° angular displacement

Heidari, Navid, Moghaddam, Mohammadreza Kolahdouz, Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2025. « Bidirectional electrostatic rotary MEMS actuator achieving ±3.2° angular displacement ». Journal of Microelectromechanical Systems.
(Sous presse)

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Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Professeur:	Professeur Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	17 déc. 2025 15:21
Dernière modification:	17 déc. 2025 15:21
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33129

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