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MEMS resonator Q-factor improvement using 3-D-printed acoustic reflectors

Asl, Mirmaghsoud Tabatabaei, Gratuze, Mathieu, Cicek, Paul-Vahe et Nabki, Frederic. 2026. « MEMS resonator Q-factor improvement using 3-D-printed acoustic reflectors ». Journal of Microelectromechanical Systems.
(Sous presse)

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):
Chercheur(-euse)
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique
Date de dépôt: 24 mars 2026 17:21
Dernière modification: 24 mars 2026 17:21
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33500

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