Post-release metallization in MEMS silicon-to-silicon contact switches for on-resistance improvement

Shuaibu, Abdurrashid Hassan, Rabih, Almur A. S., Blaquière, Yves et Nabki, Frederic. 2026. « Post-release metallization in MEMS silicon-to-silicon contact switches for on-resistance improvement ». Micromachines, vol. 17, nº 3.

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URL Officielle: https://doi.org/10.3390/mi17030288

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Blaquière, Yves Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	17 avr. 2026 20:34
Dernière modification:	17 avr. 2026 20:34
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33622

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