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MEMS microbreaker with electrostatically actuated closure and tunable electrothermal reset

Shuaibu, Abdurrashid Hassan, Rabih, Almur A. S., Blaquière, Yves et Nabki, Frederic. 2026. « MEMS microbreaker with electrostatically actuated closure and tunable electrothermal reset ». Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 35, nº 3. pp. 528-540.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):
Chercheur(-euse)
Blaquière, Yves
Nabki, Frédéric
Affiliation: Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt: 29 avr. 2026 15:49
Dernière modification: 29 juill. 2026 20:13
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33683

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