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Inkjet printed sol-gel titania precursor atop MEMS resonator for precise frequency control and tuning

Benavides-Guerrero, Jaime Alberto, Gerlein, Luis Felipe, Gratuze, Mathieu, Vaussenat, Fabrice, Menard, Michaël, Nabki, Frederic, Bolduc, Martin et Cloutier, Sylvain G.. 2026. « Inkjet printed sol-gel titania precursor atop MEMS resonator for precise frequency control and tuning ». IEEE Sensors Journal, vol. 26, nº 15. pp. 22393-22404.

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Type de document: Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):
Chercheur(-euse)
Ménard, Michaël
Nabki, Frédéric
Cloutier, Sylvain G.
Affiliation: Génie électrique, Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt: 14 juill. 2026 15:48
Dernière modification: 04 sept. 2026 18:32
URI: https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/34004

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