Center-wall thermal-field sensing and Smith-predictor-assisted MPC cut-back control for multi-zone LPCVD tube furnaces

Huang, Xinyan, Jiang, Wen, Liu, Haiqiao, Chen, Bao, Al-Haddad, Kamal et Wang, Hui. 2026. « Center-wall thermal-field sensing and Smith-predictor-assisted MPC cut-back control for multi-zone LPCVD tube furnaces ». Applied Thermal Engineering, vol. 303, nº Part 3.

Le plein texte de ce document n'est pas hébergé sur ce serveur.

Rechercher dans Google Scholar

URL Officielle: https://doi.org/10.1016/j.applthermaleng.2026.1322...

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Al Haddad, Kamal
Affiliation:	Génie électrique
Date de dépôt:	11 août 2026 20:16
Dernière modification:	11 août 2026 20:16
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/34197

Actions (Authentification requise)

Dernière vérification avant le dépôt