Pivot-stable electrostatic rotary MEMS structure for alignment-critical applications

Heidari, Navid, Pita Ruiz, Julian L., Gratuze, Mathieu, Nabavi, Seyedfakhreddin, Ménard, Michaël et Nabki, Frederic. 2026. « Pivot-stable electrostatic rotary MEMS structure for alignment-critical applications ». Sensors and Actuators A: Physical, vol. 409.

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URL Officielle: https://doi.org/10.1016/j.sna.2026.118047

Type de document:	Article publié dans une revue, révisé par les pairs
Chercheur(-euse):	Chercheur(-euse) Ménard, Michaël Nabki, Frédéric
Affiliation:	Génie électrique, Génie électrique
Date de dépôt:	02 juill. 2026 20:52
Dernière modification:	02 juill. 2026 20:52
URI:	https://espace2.etsmtl.ca/id/eprint/33877

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